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技术词汇

多晶铸锭

多晶铸锭是将熔化的金属倒入永久的或可以重复使用的铸模中制造出来的。凝固之后,这些锭(或棒料、板坯或方坯,根据容器而定)被进一步机械加工成多种新的形状。

定向凝固法

是将硅料放在坩埚中加以熔融,然后将坩埚从热场中逐渐下降或从坩埚底部通上冷源以造成一定的温度梯度,使固液界面从坩埚底部向上移动而形成晶锭。

浇铸法

是将熔化后的硅液从坩埚中倒入另一模具中凝固以形成晶锭,铸出硅锭呈方形,切成的硅片一般尺寸为10cm×l0cm,平均晶粒尺寸从毫米到厘米。

切片

多槽滚轮带动均匀缠绕其上的钢丝作高速运动,钢丝带动黏附的研磨砂对切割工件产生磨削作用,以达到对各类硬脆性工件(如单晶硅、水晶等)进行片状切削的目的。

流化床法

以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内(沸腾床)高温高压下生成三氯氢硅,将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅,继而生成硅烷气。 制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应,生成粒状多晶硅产品。